Узровень чысціні паветра (N) | Ліміт максімальнай канцэнтрацыі часціц, большы або роўны пазначанаму памеру часціц (колькасць часціц паветра/м3) | |||||
0,1 мкм | 0,2 мкм | 0,3 мкм | 0,5 мкм | 1,0 мкм | 5,0 мкм | |
ISO клас 1 | 10 | 2 | ||||
ISO клас 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO клас 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO клас 4 | 10 000 | 2370 | 1,020 | 352 | 83 | |
ISO клас 5 | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | 29 |
ISO клас 6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
ISO клас 7 | 352 000 | 83 200 | 2930 | |||
ISO клас 8 | 3 520 000 | 832 000 | 29300 | |||
ISO клас 9 | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 |
шт/M≥0,5 мкм | ISO 14644-1 (1999) | US 209E (1992) | US 209D (1988) | ЕЭС цГМФ (1989) | ФРАНЦЫЯ АФНОР (1981) | ГЕРМАНІЯ VDI 2083 (1990) | ЯПОНІЯ JAOA (1989) |
1 | - | - | - | - | - | - | - |
3.5 | 2 | - | - | - | - | 0 | 2 |
10,0 | - | M1 | - | - | - | - | - |
35.3 | 3 | М1.5 | 1 | - | - | 1 | 3 |
100 | - | M2 | - | - | - | - | - |
353 | 4 | М2.5 | 10 | - | - | 2 | 4 |
1000 | - | M3 | - | - | - | - | - |
3530 | 5 | М3.5 | 100 | A+B | 4000 | 3 | 5 |
10 000 | - | M4 | - | - | - | - | - |
35300 | 6 | М4.5 | 1000 | 1000 | - | 4 | 6 |
100 000 | - | M5 | - | - | - | - | - |
353 000 | 7 | М5.5 | 10 000 | C | 400 000 | 5 | 7 |
1 000 000 | - | M6 | - | - | - | - | - |
3 530 000 | 8 | M6.5 | 100 000 | D | 4 000 000 | 6 | 8 |
10 000 000 | - | M7 | - | - | - | - | - |