Аўтаматычны кантроль тэмпературы і вільготнасці
Тэмпература і вільготнасць чыстага памяшкання ў асноўным вызначаюцца ў адпаведнасці з патрабаваннямі працэсу, але пры ўмове, што патрабаванні працэсу выконваюцца, неабходна ўлічваць камфорт чалавека.З павелічэннем патрабаванняў да чысціні паветра назіраецца тэндэнцыя, што працэс прад'яўляе ўсё больш жорсткія патрабаванні да тэмпературы і вільготнасці.
Паколькі дакладнасць апрацоўкі становіцца ўсё больш тонкай, патрабаванні да дыяпазону тэмпературных ваганняў становяцца ўсё меншымі і меншымі.Напрыклад, у працэсе экспазіцыі літаграфіі пры буйнамаштабнай вытворчасці інтэгральных схем розніца паміж каэфіцыентам цеплавога пашырэння шкла і крамянёвай пласціны як матэрыялу дыяфрагмы павінна быць усё меншай і меншай.Крэмніевая пласціна дыяметрам 100 мкм будзе выклікаць лінейнае пашырэнне 0,24 мкм пры павышэнні тэмпературы на 1 градус.Такім чынам, яна павінна мець пастаянную тэмпературу ±0,1 градуса.У той жа час значэнне вільготнасці, як правіла, павінна быць нізкім, таму што пасля таго, як чалавек пацее, прадукт будзе забруджаны, асабліва для паўправадніковых майстэрняў, якія баяцца натрыю, гэты від чыстай майстэрні не павінен перавышаць 25 градусаў.
Залішняя вільготнасць выклікае больш праблем.Калі адносная вільготнасць перавышае 55%, на сценцы трубы астуджальнай вады будзе ўтварацца кандэнсат.Калі гэта адбываецца ў прэцызійным прыладзе або ланцугу, гэта прывядзе да розных аварый.Лёгка іржавее пры адноснай вільготнасці паветра 50%.Акрамя таго, калі вільготнасць занадта высокая, пыл на паверхні крамянёвай пласціны будзе хімічна адсарбаваны малекуламі вады ў паветры на паверхню, якую цяжка выдаліць.Чым вышэй адносная вільготнасць, тым цяжэй выдаліць адгезію, але калі адносная вільготнасць ніжэй за 30%, часціцы таксама лёгка адсарбуюцца на паверхні з-за дзеяння электрастатычнай сілы і вялікай колькасці паўправаднікоў. прылады схільныя паломкі.Найлепшы тэмпературны дыяпазон для вытворчасці крэмніевых пласцін складае 35~45%.
